昊天宸科技 | 視覺檢測設備在晶圓外觀尺寸檢測中的(de)應用(yòng)

晶圓是制作IC最基礎的(de)半導體材料，晶圓的(de)質量決定著(zhe)IC成品的(de)質量好壞。在處理(lǐ)晶圓之前，對(duì)晶圓進行嚴格的(de)外觀尺寸檢測是非常重要的(de)環節，有利于後續的(de)加工，提高(gāo)晶圓加工效率。本篇文章(zhāng)，昊天宸小編将爲大(dà)家介紹視覺檢測設備在晶圓外觀尺寸檢測中的(de)應用(yòng)。

晶圓常見的(de)三類外觀缺陷

晶圓在制造的(de)過程中，包括離子注入、抛光(guāng)、刻蝕等幾乎任意一個(gè)環節都會由于技術不精确或外在環境污染等而形成缺陷，從而導緻芯片最終失效。晶圓常見的(de)外觀缺陷主要有三類：

1、冗餘物(wù)：包括納米級的(de)微小顆粒、微米級的(de)灰塵、相關工序的(de)殘留物(wù)等。

2、晶體缺陷：滑移線缺陷，堆垛層錯等。

3、機械損傷：劃痕等，一般産生于晶圓制造過程中抛光(guāng)、切片等步驟中，由化(huà)學機械研磨所緻，是一種較爲嚴重的(de)晶圓表面缺陷，能夠對(duì)集成電路芯片造成極爲嚴重的(de)影(yǐng)響。

視覺檢測設備在晶圓外觀尺寸檢測中的(de)應用(yòng)

爲了(le)防止存在缺陷的(de)晶片流入後面的(de)工序，必須進行嚴格的(de)檢測。相較于傳統人(rén)工檢測而言，機器視覺檢測具有精度高(gāo)、效率高(gāo)、可(kě)連續性以及非接觸式避免污染等優勢，能夠高(gāo)效識别晶圓表面缺陷并分(fēn)類、标記，輔助晶片分(fēn)揀。

視覺檢測設備可(kě)對(duì)晶圓尺寸進行測量，檢測劃痕、凹凸、破損、裂痕、氣孔、異物(wù)、污染、鎳層不良等外觀缺陷。

深圳數能聯合科技有限公司是一家集研發、專屬定制及銷售爲一體的(de)國家級高(gāo)新科技企業，業内領先的(de)生産線設備升級改造方案提供商。自成立以來(lái)，公司就一直專注于機器視覺檢測領域，自主研發生産機器視覺檢測設備、視覺檢測自動化(huà)設備、機器視覺外觀檢測設備、光(guāng)學自動化(huà)檢測設備、CCD視覺檢測設備、光(guāng)學篩選機、機器視覺檢測系統，同時(shí)提供定制化(huà)機器視覺檢測解決方案，爲各大(dà)企業廠家提供非标自動化(huà)檢測設備，針對(duì)新能源電池、PCB線路闆、精密部件、電子元器件等領域産品的(de)尺寸測量、外觀缺陷、字符識别等方面進行自動化(huà)檢測，幫助客戶提高(gāo)生産效率，提高(gāo)産品質量，降低人(rén)工成本，增強市場(chǎng)競争力。